近期，中国半导体设备领域亮点纷呈，本土企业在项目建设、技术突破与产业布局上多点开花，展现出强劲的发展动能，为行业高质量发展注入澎湃动力。
奥松半导体重庆项目：首台光刻机搬入，进入设备安装调试阶段
7 月 14 日，重庆首 个 8 英寸 MEMS 特色芯片 IDM 全产业链项目 —— 奥松半导体特色芯片产业基地，迎来首台光刻机成功搬入，标志着项目全面进入设备安装调试阶段。
该项目总投资 35 亿元，涵盖 8 英寸特色传感器芯片量产线、MEMS 特色晶圆快速研发线、智能传感器创新研发中心等，可实现 MEMS 半导体传感器从研发到量产的全流程衔接。项目负责人李忠介绍，后续将陆续搬入晶圆制造、封装测试等各类设备，计划月底前完成全部设备搬入，8 月迎来第二台光刻机，目标是 8 月底通线试产，第四季度进入产能爬坡并交付客户。达产后，一期项目将形成每月 1-2 万片晶圆的产能。
舜宇奥来临港项目：光刻机迁入，深化产业合作
同日（7 月 14 日），舜宇光学科技旗下子公司舜宇奥来微纳光学（上海）有限公司的临港项目，首台光刻机正式迁入。
舜宇奥来成立于 2019 年，专注于晶圆级微纳光学加工，产品涵盖显示光学、感知光学两大类，广泛应用于 AR 智能眼镜、智能手机、扫地机器人等领域。公司具备自主光学设计能力，拥有纳米压印、刻蚀全流程工艺设备，可提供从设计到量产的一站式服务，在浙江宁波、上海张江及临港设有研发线与量产线。
此次光刻机迁入的同时，舜宇奥来还与上海天岳半导体、中微半导体签署战略合作协议，将深化微纳米光学与新材料领域的协同，推动国产集成电路设备在微纳光学领域的在地合作。
先导科技集团：百亿级半导体装备基地落户四川遂宁
近日，广东先导稀材股份有限公司与四川遂宁市安居区人民政府签约，总投资 106 亿元的 “先导科技集团半导体高端装备制造西南生产基地” 正式落地安居经开区。该项目分两期推进，目标是建成西南 大的半导体高端装备及零部件标准化产品生产基地，也是遂宁市 3 年来首 个百亿级产业项目。
先导科技集团是一家从稀散金属领域拓展至泛半导体高端材料、器件、系统的高新技术企业，产品应用于人工智能、半导体、新能源、5G 等多个高成长行业。值得注意的是，今年 5 月，该集团已在上海临港落地总投资 50 亿元的 “集成电路零部件及系统总部基地项目”，计划建设质量流量控制器、光刻系统等生产线。通过控股 A 股半导体设备厂商万业企业，先导科技进一步深耕半导体设备及零部件领域，而万业企业旗下凯世通在国内集成电路离子注入机市场地位突出，2025 年上半年已交付 8 台设备，一季度确认 3 台验收。
华海清科、华林嘉业：国产设备在关键领域实现突破
7 月 14 日，华海清科宣布，其全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的首台 12 英寸低温离子注入机 iPUMA-LT 顺利出机，发往国内逻辑芯片制造。该设备可提升片间重复性，提高芯片性能和良率，同时抑 制 “隧道效应” 以实现更浅结深，为先进制程的研发与量产提供支持。目前，华海清科已推出大束流离子注入机系列，并布局中束流、高能离子注入机，覆盖逻辑芯片、存储芯片、功率半导体等多个应用领域。
北京华林嘉业科技有限公司（CGB）近期向国内的第三代半导体企业交付了自主研发的湿法清洗设备集群，该设备将用于碳化硅外延及器件产线，助力提升晶圆制造良率与产能效率。碳化硅功率器件因耐高压、耐高温特性，是电动汽车、光伏逆变器等高端应用的器件。此前一个月，该公司还向苏州迈姆思半导体交付了多款清洗设备。华林嘉业成立于 2008 年，产品覆盖集成电路、化合物半导体、光伏等多个领域，提供的设备研发与服务。
这些动态不仅体现了全 球半导体设备行业的技术迭代与市场活力，也展现了中国在半导体设备领域从项目落地到技术突破的全方位进展，为行业未来发展注入了强劲动力。