X 射线荧光光谱仪 XRF（X?Ray Fluorescence Spectrometer）
原理：X 射线管发射初级 X 射线轰击样品，原子内层电子被击出形成空位，外层电子跃迁补位释放特征 X 射线荧光；不同元素荧光能量 / 波长，采集荧光能量 / 波长与强度，完成定性 + 定量元素分析，属于表面无损检测，检测深度微米?百微米级别，只测表层成分。
两大主流技术路线
1. 能量色散型 ED?XRF（台式 / 手持）
探测器：SDD / Si?PIN 半导体探测器，直接采集荧光光子能量，不需要分光晶体
元素范围：常规 Mg～U；真空 / 薄窗配置可到 B?F；不能测 H、C、N、O
检出限：几十 ppm~% 级别
优点：体积小、速度快（几秒?几十秒）、样品前处理简单、可做成手持现场检测，价格更低
缺点：分辨率一般，轻元素能力弱，基体干扰明显
典型场景：RoHS 有害元素筛查、合号鉴别、贵金属、土壤重金属、镀层测厚、来料快速质检
2. 波长色散型 WD?XRF（大型实验室台式）
原理：布拉格衍射，分光晶体把不同波长荧光分开逐次测量，多晶体切换
元素范围：Be～U，真空 / 氦气下可测 O、F、C 等轻元素
检出限：ppm 甚至亚 ppm 级，、重复性远高于 ED?XRF
优点：分辨率极高、谱干扰小、主量?微量?痕量同时定量，适合粉末、压片、熔片样品
缺点：设备庞大昂贵、需要冷却水、对环境要求高、分析时间更长
典型场景：水泥、矿石、冶金、玻璃、陶瓷、科研实验室常量分析
补充：TXRF 全反射 XRF，超痕量，适合液体样品，检出限可达 ppb，多用于科研。
关键性能边界
?优点
无损检测，固体、粉末、压片、熔融片、镀层均可测，样品制备简单
多元素同时分析，速度快
测量范围宽：ppm～100% 全量程
既可元素定性，也可半定量、标样定量、基本参数法定量
??局限性
表面分析：只测表层，样品表面氧化、油污、镀层会严重干扰结果；样品尽量平整均匀
无法区分价态，只能测元素总含量，不能区分化合物形态
H、He 无法检测；C/N/O 轻元素只有 WD?XRF 特殊配置可测，ED?XRF 基本测不准
基体效应明显，高准确度需要标样校准；半定量适合筛查，仲裁尽量用标准曲线校准
主流品牌
进口
WD?XRF：布鲁克 Bruker S8 TIGER、帕纳科 PANalytical、岛津理学 Rigaku
ED?XRF 台式：日立牛津、斯派克 Spectro、布鲁克
手持 XRF：奥林巴斯 Vanta、尼通 Niton（赛默飞）、日立 X?MET、斯派克 xSORT
国产
台式 WDXRF：安科慧生、钢研纳克、创想仪器、精谱
台式 EDXRF：西凡、华科天成、一六仪器、善时仪器
手持 XRF：安科慧生、艾克、Drawell TrueX 系列，性价比优势明显
选型关键参数清单（可以直接发给客户确认）
设备形态：手持 / 台式 ED?XRF / 大型 WD?XRF
需要检测哪些元素，是否需要测轻元素 (O/F/Mg/Al)
含量范围：主量 %、微量 ppm、痕量要求
样品类型：固体块料、粉末、矿石、镀层、液体；样品表面是否平整
应用目的：快速筛查、内控质检、科研定量、是否需要 CNAS 检测
是否需要镀层厚度测试功能
环境条件：实验室固定使用，还是野外现场检测
常见对标替代
实验室高：进口 WDXRF ? 国产 CNX?838 等国产波谱仪
RoHS / 来料筛查台式 EDXRF：进口台式 ? 一六仪器、善时国产台式
手持合金分析：奥林巴斯 Vanta ? 安科慧生 Alioth?π 国产手持